<code dir="rys"></code><time dir="excg"></time>
<code id="kik"></code><map dropzone="rak"><noframes dir="elqv">
<dfn dropzone="qyeb"></dfn><del lang="agqg"><del id="ltw"><center lang="onx"><area lang="fuk"></area></center><map date-time="ucwt"></map></del><noframes dropzone="pgy"><sup dir="ptli"><dfn lang="cmgy"></dfn><ins date-time="eai"></ins></sup><sub dir="zca"><strong date-time="kgx"></strong></sub>

中央吸塵系統車間除塵設備工業吸塵器

國邁值得您信賴的粉塵/煙塵處理服務商
全國咨詢熱線:
0512-33001710

國邁資訊

什么是中央清掃真空系統?

時間:2018-05-30   來源:本站   訪問量:1679 次

中央清掃真空系統HV(House Vacuum)又稱中央真空除塵系統,廣泛存在于電子行業、化工行業、以及制藥等行業中。

中央真空清掃系統

1.1系統組成

中央真空清掃系統是由吸塵主機(如下圖所示)、控制系統、吸塵管路、吸塵閥門、吸塵操作組件:真空清掃口(邊墻型/地板型)、清掃口連接彎頭(邊墻型)、清掃口連接件(地板型)、開關盒等構成。真空吸塵系統是一種高負壓,低流量的除塵系統的統稱。這一系統往往被應用于電子行業制造車間環境的清掃。應用這一系統的用戶往往對粉塵捕集的要求非常高,生產過程采用的加工設備屬于高精密加工設備,防塵要求高。


1.2工作原理

中央真空清掃系統運行時,粉塵通過吸塵嘴被有效的吸入到真空管網內部,在真空負壓的作用下,被吸進的粉塵隨氣流沿著負壓管路被抽入吸塵器內部。首先大顆粒粉塵經過進風口導流板,在離心力的作用下,落入機器下方的集塵桶內;密度極輕粉塵隨氣流繼續向上運動。粉塵進入中央吸塵主機過濾室時,被過濾器分離,清潔的空氣由真空吸塵機排風出口經消音裝置排入空氣中。過濾器上的粉塵通過系統自動脈沖反吹裝置定時反吹交替工作來完成。。

1.3 中央清掃裝置特征:

  1. 集中的采撷廢棄物而且能夠自動的袪除氣體或液體。

  2. 創造一個安详更加干凈的潔凈室工作環境。

  3. 真空清掃系統一般安顿在清潔室的外機房或者放到遠離有危險的區域。

  4. 每一套裝置都設計的可以連續全日二十四小時工作,連續一周七天工作。

二、制程真空PV


 工藝真空系統廣泛應用于電子半導體業、光電背光模組、機械加工等行業,须要有極高的運作性能和可靠性。隨著電子廠自動化水平高,很多機器需要真空作為設備的動力。大部份的真空度要求在-0.06MPa -0.09MPa 当中。个中芯片廠主要用于wafer的吸取及移動以及如下設備:

IMP機臺(MIC);

PH機臺;

ET機臺(CDE,UVC);

TF機臺;

CMP機臺;

量測機臺(HTK,PRO)

PV pump一般位于fab,采用N 1配置方式,設置真空儲罐

各機臺之POU點經sub-main到main-pipe到tank,再經過pump排入一般排氣系統。

常用系統參數:真空度PV值一般不會小于0.9bar,使用值:70~260Torr/-40~100Torr;

流量:9~110 LPM;

接管尺寸:1/4“, 3/8 “

制程真空系統的組成:

由真空泵、 PLC 程序控制系統、儲氣罐、真空管道、真空閥門、過濾總成等組成的真空系統。

控制邏輯:設定真空系統的上下限值,啟動系統后,其中一臺真空泵開始工作,直到真空罐內真空度高于上限值,此時真空泵自動停止,真空罐內真空由真空止回閥自動截止。

如因工作需求真空罐內真空度降至低于下限值時,另一臺真空泵自動啟動直到真空罐內真空度抽到上限值超過時間,而臺真空泵不能罐內真空度抽至下限以上時,另一臺真空泵將啟動,直到超過上限。

運行特點:裝置一般自第一次啟動后,整个運行過程可能實現全自動控制。其工作中,真空系統內各處的真空度在其允許范圍內上下波動,其波動范圍可根據用戶要求進行調整。第一臺啟動達不到真空時第二臺啟動至達設定的真空值當達到后第一臺停第二臺停循環工作,裝置在無人操作情況下對系統進行自動控制,在停電時可封閉真空系統。同時控制箱能够保護真空泵馬達過載及短路。

工藝真空示意圖


三、工藝高真空

  與house vacuum差异,FAB 中許多工藝設備運轉過程中會產生許多的廢氣和危害性氣體,機臺在重新運轉前有計劃有步驟的废除這些副產品。這樣不妨減少設備本身產生的污染,減少廢品。

設備中采集這種副產品的部件叫氣室「chamber」。為了清潔氣室,必須运用高真空系統。即是用真空Pump把機臺內的廢氣通過高真空管路抽出來,經過Scrubber 處理后排放到Exhaust system,從而保持設備的清潔和運轉,保持環境的清潔。

一端與設備連接,另一端與泵連接的這段管叫做高真空管 “Pumping- Line”「vent 」。

别的有一種管,一端連到泵的輸出端而另一端連到工藝排風系統。許多設備有幾種氣室,必須把廢氣用泵抽出來,從而保持設備的清潔,相應的有不同的高真空管和泵來配套。為了確保這種廢氣排放工藝灵验運行,在安裝設計高真空管時小心。要考慮到奈何確保氣泵灵验的工作。這必要抽氣系統越短越好,所受限制越少越好,因而high vacuum泵一般安放在SUBFAB,位于相關設備的正下方或盡不妨靠近相關設備的正下方。



與Plant vacuum比拟較,High vacuum一般參數如下:

真空度 0.01~10mTorr傍边;

利用值:0.1~10mTorr;

流量:LPM(由工藝確定);

尺寸:1/4“,3/8 “,2 “, 3 “,4 “,5 “ ,6 “;

主要Pump類型品牌:BOC、Edwards、Ebara等;

主要scrubber類型:電加熱吸附式;燃燒式;及循環水洗式等。


關鍵詞:
在線咨詢
聯系電話

15370311710